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少子壽命測(cè)量?jī)xBCT-400
BCT-400測(cè)量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測(cè)量單晶和多晶硅(錠或塊)的少子壽命.
因?yàn)樯僮訅勖鳛楹饬可L(zhǎng)和缺陷含量的的*敏感的技術(shù)參數(shù),這個(gè)工具直接獲得長(zhǎng)硅的質(zhì)量參數(shù)。
作為*易于使用的測(cè)量工具--BLS,只需要有直徑150mm大小的平面。如果只是測(cè)量平面樣品的話,請(qǐng)選擇BCT-400。
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