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        橢圓偏光膜厚測試儀(自動)
        橢圓偏光膜厚測試儀(自動)

        參考價(jià)格

        面議

        型號

        品牌

        產(chǎn)地

        日本

        樣本

        暫無
        上海瞬渺光電技術(shù)有限公司

        會員

        |

        第2年

        |

        生產(chǎn)商

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        產(chǎn)品特點(diǎn):

        ? 橢圓偏振術(shù)測量紫外光到可見光波長橢圓參數(shù)。

        ? 0.1nm以上奈米級光學(xué)薄膜厚度測量。

        ? 400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速測量橢圓偏光光譜。

        ? 可自由變換反射測量角度,得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。

        ? 非線性*小平方法解析多層膜、光學(xué)常數(shù)。

        產(chǎn)品規(guī)格:

        膜厚測量范圍0.1nm~
        波長測量范圍250~800nm(可選擇3501000nm
        感光元件光電二極管陣列512ch(電子制冷)
        入射/反射角度范圍45~90o
        電源規(guī)格AC1500VA(全自動型)
        尺寸1300H×900D×1750Wmm
        重量約350kg(全自動型)

        應(yīng)用范圍:

        ■半導(dǎo)體晶圓?電晶體閘極(Gate)氧化薄膜、氮化膜,電極材料等?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN?光阻劑光學(xué)常數(shù)(波長色散)■化合物半導(dǎo)體?AlxGa (1-x) As多層膜、非結(jié)晶矽■平面顯示器?配向膜?電漿顯示器用ITO、MgO等■新材料?類鉆碳薄膜(DLC膜)、超傳導(dǎo)性薄膜、磁頭薄膜■光學(xué)薄膜?TiO 2、SiO 2、多層膜、抗反射膜、反射膜■平版印刷領(lǐng)域?g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)等于各波長的n、k值評價(jià)

        應(yīng)用范例:

        非線性*小平方法比對NIST標(biāo)準(zhǔn)樣品(SiO 2)膜厚精度確認(rèn)

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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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