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產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 400波長(zhǎng)以上多通道分光的橢偏儀，高速測(cè)量橢圓偏光光譜。
? 自動(dòng)變更反射測(cè)量角度，可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。
? 采用正弦桿自動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式，展現(xiàn)測(cè)量角度變更時(shí)優(yōu)異的移動(dòng)精度。
? 搭載薄膜分析所需的全角度同時(shí)測(cè)量功能。
? 可測(cè)量晶圓與金屬表面的光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。
產(chǎn)品規(guī)格：
| 樣品對(duì)應(yīng)尺寸 | 100×100mm |
| 測(cè)量方式 | 偏光片元件回轉(zhuǎn)方式 |
| 入射/反射角度范圍 | 45～90o |
| 入射/反射角度驅(qū)動(dòng)方式 | 反射角度可自動(dòng)變更 |
| 波長(zhǎng)測(cè)量范圍 | 300～800nm |
| 分光元件 | Poly-chrometer |
| 尺寸 | 650（H）×400（D）×560（W）mm |
| 重量 | 約50kg |
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