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德國WEP公司的ECV（型號為CVP21）在太陽能光伏行業(yè)的應(yīng)用非常普及，市場占有率甚至達95%以上，是光伏行業(yè)電池技術(shù)研究和發(fā)展的必要工具之一，幾乎知名的光伏企業(yè)都有使用。

WEP公司的ECV設(shè)備：CVP21（見圖）

1. ECV又名擴散濃度測試儀，結(jié)深測試儀等，即電化學(xué)CV法測擴散后的載流子濃度分布（見圖）；

2. 相比其他方法如SRP，SIMS等，ECV具有測量使用方便，價格低的優(yōu)點；

3. WEP公司的ECV具有獨特技術(shù)可應(yīng)用于測試電池片的絨面樣片，這也是其被廣泛使用的原因之一；

4. CVP21所能測量的深度范圍是nm---10um;

5. 測量的載流子濃度范圍在10e12cm-3 < N < 10e21cm-3之內(nèi)都無需校準(zhǔn)；

6. 測量擴散樣片時，樣片是保持“Dry in”和“Dry out”，并無需做特別處理；

7. 其所用到的化學(xué)試劑本地就能買到，價格低且用量很少買一次可以用好幾年；

8. 從CVP21所測得的數(shù)據(jù)能帶給研發(fā)或工藝人員三方面的信息：一是表面濃度，二是濃度變化曲線，三是結(jié)深（見圖）；

9. 表面濃度對于選擇和使用適合的漿料很有幫助，如粘合性，接觸電阻等的匹配問題；

10. 濃度分布曲線對掌握和改進擴散工藝提供依據(jù)；

11. 結(jié)深的信息對電池工藝的總體把握來說是必須的，也是擴散工藝時常需要抽測的項目之一；

12. 參考：測試出的幾種擴散濃度分布曲線（見圖）；

13. 廣泛的客戶群：Q-CELL， NREL， ISFH， SHELL，ECN，RWE，HMI，SISE尚德，天合，晶澳，英利，交大泰陽，BYD，海潤，晶科，吉陽，南玻，格林保爾…

儀器簡介：電化學(xué)ECV，摻雜濃度檢測（C-V Profiling）PN結(jié)深測試

電化學(xué)ECV可以用于太陽能電池、LED等產(chǎn)業(yè)，是化合物半導(dǎo)體材料研究或開發(fā)的主要工具之一。電化學(xué)ECV主要用于半導(dǎo)體材料的研究及開發(fā)，其原理是使用電化學(xué)電容-電壓法來測量半導(dǎo)體材料的摻雜濃度分布。電化學(xué)ECV(CV-Profiler， C-V Profiler)也是分析或發(fā)展半導(dǎo)體光-電化學(xué)濕法蝕刻(PEC Etching)很好的選擇。

本設(shè)備適用于在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的外延過程的性能評估和過程控制，可以測試多種不同的材料，例如：硅， 鍺， III-V 族和 III-N族材料等。CVP 21的模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)讓測量半導(dǎo)體材料（結(jié)構(gòu)，層）中的摻雜濃度分布變得高效、準(zhǔn)確。選用合適的電解液與材料接觸、腐蝕，從而得到材料的摻雜濃度分布。電容值電壓掃描和腐蝕過程由軟件全自動控制 。

CVP21的系統(tǒng)特點：

*堅固可靠的模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu) ．光學(xué)，電子和化學(xué)部分相對獨立．

*精確的測量電路模塊

*強力的控制軟件，系統(tǒng)操作，使用簡便

*完善的售后服務(wù)

提供免費樣品測試并提供測試報告。

保修期：2年，終身維修。

對用戶承諾終身免費樣品測試每月1次。

技術(shù)參數(shù)：

我們在電化學(xué)方分布測試產(chǎn)品方面有超過３０年的經(jīng)驗和世界上***的電路系統(tǒng)。

全自動，特別適用于新材料，如氮化鎵，碳化硅材料等?！?

有效檢測: 外延材料、擴散 、離子注入

適用材料: CVP21應(yīng)用范圍寬，可以用于絕大多數(shù)的半導(dǎo)體材料。

IV族化合物半導(dǎo)體如：硅(Si)、鍺(Ge)、碳化硅(SiC)等;

III-V族化合物半導(dǎo)體如：砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、磷化鎵(GaP)等;

三元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵砷(AlGaAs)、鎵銦磷(GaInP)、鋁銦砷(AlInAs)等;

四元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵銦磷(AlGaInP)等;

氮化物如：氮化鎵(GaN)、鋁鎵氮(AlGaN)、銦鎵氮(InGaN)、鋁銦氮(AlInN)等;

II-VI族化合物半導(dǎo)體如：氧化鋅(ZnO)、碲化鎘(CdTe)、汞鎘碲(HgCdTe)等;

其他不常見半導(dǎo)體材料(可以聯(lián)系我們進行樣品測量)。

載流子濃度測量范圍:

*** 1021/cm³； *小 1011/cm³

深度解析度: **無上限；*小可至1 nm （或更低）

模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu): 拓?fù)湫徒Y(jié)構(gòu)，實時監(jiān)控腐蝕過程，適于微小樣品及大尺寸的晶圓，全自動化系統(tǒng)。

主要特點：

CVP21電化學(xué)ECV是半導(dǎo)體載流子濃度分布**的解決方案：

1， CVP21應(yīng)用范圍寬，可以用于絕大多數(shù)的半導(dǎo)體材料。

* IV族化合物半導(dǎo)體如：硅(Si)、鍺(Ge)、碳化硅(SiC)等;

* III-V族化合物半導(dǎo)體如：砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、磷化鎵(GaP)等;

* 三元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵砷(AlGaAs)、鎵銦磷(GaInP)、鋁銦砷(AlInAs)等;

* 四元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵銦磷(AlGaInP)等;

* 氮化物如：氮化鎵(GaN)、鋁鎵氮(AlGaN)、銦鎵氮(InGaN)、鋁銦氮(AlInN)等;

* II-VI族化合物半導(dǎo)體如：氧化鋅(ZnO)、碲化鎘(CdTe)、汞鎘碲(HgCdTe)等;

* 其他不常見半導(dǎo)體材料(可以聯(lián)系我們進行樣品測量)。

2， CVP21可用于不同形態(tài)的樣品：多層結(jié)構(gòu)的薄膜材料、基底沒有限制(基底導(dǎo)電或絕緣均可)、標(biāo)準(zhǔn)樣品尺寸從4*2mm ~ 8英寸晶圓(更小尺寸樣品請預(yù)先咨詢我們)。

3， CVP21擁有很好的分辨率范圍。

* 載流子濃度分辨率范圍從< 1012 cm-3 ~ > 1021 cm-3

* 深度分辨率范圍從1nm ~ 100um (依樣品類型、樣品質(zhì)量決定)

4， CVP21是一套完整的電化學(xué)ECV測量系統(tǒng)。

* 系統(tǒng)可靠性高(儀器的電子、機械、光學(xué)、液體傳動幾個主要部分均經(jīng)特殊設(shè)計)

* 免校準(zhǔn)的系統(tǒng)(完全自校準(zhǔn)的電子系統(tǒng)，電纜電容均無須用戶再次校準(zhǔn))

* 易于使用(全用戶管理軟件優(yōu)化，在實驗室環(huán)境或生產(chǎn)環(huán)境均易于使用)

* 照相機鏡頭控制(過程在線由彩色照相機鏡頭控制；每次測量后，鏡頭數(shù)據(jù)均可取出。)

* 實驗菜單(測量菜單預(yù)定義，優(yōu)先權(quán)用戶可以很容易修改或改進測量菜單)

* Dry-In/Dry-Out: Auto-Load/Unload/Reload (電化學(xué)樣品池自動裝載/卸載/再裝載，優(yōu)先權(quán)用戶易于修改，進行樣品dry-in/dry-out處理。)

全自動電化學(xué)CV分布儀 CVP21光伏太陽能領(lǐng)域的**! 眾多科研和半導(dǎo)體領(lǐng)域用戶的的**!

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本設(shè)備適用于評估和控制在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的外延過程并且以被使用在多種不同的材料上，　例如：Silicon， Germanium， III-V including III-Nitrides.

CVP21的凈室和模塊化的系統(tǒng)設(shè)計結(jié)構(gòu)使得本系統(tǒng)可以高效率，準(zhǔn)確的測量半導(dǎo)體材料（結(jié)構(gòu)，層）中的摻雜濃度分布．選用合適的電解液與材料接觸，腐蝕，從而得到材料的摻雜濃度分布。電容值電壓掃描和腐蝕過程由軟件全自動控制

CVP21的系統(tǒng)特點

? 堅固可靠的模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu) ．光學(xué)，電子和化學(xué)部分相對獨立．

? 精確的測量電路模塊

? 強力的控制軟件，系統(tǒng)操作，使用簡便

? 完善的售后服務(wù)

特別推薦晶硅太陽能電池研究單位使用

知名用戶:

(Shin-Etsu SEH or ISFH)In the field of solar cell research， the CVP21 system is currently being used at many research centres. It was first used in 1999 by the Fraunhofer Institute for Solar Energy Systems (ISE) in Freiburg， Germany， and since then it has been installed at the Institute for Molecules and Materials (IMM) in Nijmegen， The Netherlands， the RWE Space Solar Power GmbH in Heilbronn， Germany， the Hahn-Meitner-Institute (HMI) in Berlin， Germany， and the Institute for Solar Energy Research (ISFH) in Hamelin/Emmerthal， Germany.

在德國和日本都有很多太陽能電池用戶使用，鑒于商業(yè)保密需要不能公開。

產(chǎn)品**結(jié)合我們在電化學(xué)方分布測試方面超過３０年的經(jīng)驗和世界上***的電路系統(tǒng)。　

全自動，　特別適用于新材料，　如氮化鎵，　碳化硅材料，多晶硅等等。　

有效檢測:

• ?外延材料

• ?擴散

• ?離子注入

適用材料:CVP21應(yīng)用范圍寬，可以用于絕大多數(shù)的半導(dǎo)體材料。

• IV族化合物半導(dǎo)體如：硅(Si)、鍺(Ge)、碳化硅(SiC)等…

• III-V族化合物半導(dǎo)體如：砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、磷化鎵(GaP)等…

• 三元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵砷(AlGaAs)、鎵銦磷(GaInP)、鋁銦砷(AlInAs)等…

• 四元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵銦磷(AlGaInP)等…

• 氮化物如：氮化鎵(GaN)、鋁鎵氮(AlGaN)、銦鎵氮(InGaN)、鋁銦氮(AlInN)等…

• II-VI族化合物半導(dǎo)體如：氧化鋅(ZnO)、碲化鎘(CdTe)、汞鎘碲(HgCdTe)等…

• 其他不常見半導(dǎo)體材料(可以聯(lián)系我們進行樣品測量)。

載流子濃度測量范圍:

• ?** 10²¹/cm3

• ?*小 10¹¹/cm3

深度解析度:

• ?**無上限

• ?*小可至1 nm （或更低）

模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu):

• ?拓?fù)湫徒Y(jié)構(gòu)

• ?實時監(jiān)控腐蝕過程

• ?適于微小樣品及大尺寸的晶圓

全自動化系統(tǒng):

?

精密的電路，電子系統(tǒng)

?

強力的軟件

**優(yōu)質(zhì)服務(wù)

1. 提供免費樣品測試并提供測試報告。

• 對用戶承諾終身免費樣品測試每月1次。

• 保修期：2年，終身維修。

電化學(xué)CV分布儀（CV測試儀）