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產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 自由搭配的光纖架構(gòu)，可安裝于生產(chǎn)線(xiàn)上、半導(dǎo)體晶圓研磨設(shè)備或真空鍍膜設(shè)備中。
? 遠(yuǎn)端同步控制、高速多點(diǎn)同步測(cè)量等。
? 豐富多樣的光學(xué)系統(tǒng)套件與應(yīng)用軟件，提供特殊環(huán)境下*理想的膜厚解決方案。
產(chǎn)品架構(gòu)：
? 半導(dǎo)體晶圓面內(nèi)分布測(cè)量
? 玻璃基板面內(nèi)分布測(cè)量
? 即時(shí)性量測(cè)
? 輸送方向的定點(diǎn)品質(zhì)管理
? 對(duì)應(yīng)真空環(huán)境之設(shè)備
? 即時(shí)性測(cè)量
? 輸送方向的全面品質(zhì)管理
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