參考價(jià)格
面議型號(hào)
量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備品牌
致真精密產(chǎn)地
安徽樣本
暫無看了量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
該設(shè)備基于晶圓真空傳輸平臺(tái)VTM，可以靈活配備傳輸腔室和工藝腔室，工藝腔室可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、濺射腔室、熱蒸發(fā)腔室和預(yù)清洗腔室等?？蓪?shí)現(xiàn)多種材料的精確沉積。
性能參數(shù)
| 晶圓尺寸 | 8~12吋 |
| 極限真空 | 優(yōu)于5×10-9mbar（工藝室PM） 優(yōu)于5×10-7mbar（傳輸室TM） 優(yōu)于5×10-6mbar（進(jìn)樣室Load lock） |
| 工藝室 | 可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、熱蒸發(fā)腔室、預(yù)清洗室、濺射室、退火室、低溫室、蒸發(fā)室、氧化室等 |
| 傳輸室 | 可選四邊形、六邊形或八邊形腔室，可實(shí)現(xiàn)多個(gè)傳輸室互聯(lián)，配置雙臂或單臂機(jī)械臂，配置校準(zhǔn)和測(cè)量裝置 |
| 進(jìn)樣室 | 8或12吋晶圓，可選EFEM等前端模塊 |
| 詳細(xì)配置可咨詢業(yè)務(wù) |
暫無數(shù)據(jù)！
量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備的工作原理介紹？量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備的使用方法？量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備多少錢一臺(tái)？量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備使用的注意事項(xiàng)量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備的說明書有嗎？量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備的操作規(guī)程有嗎？量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備有現(xiàn)貨嗎？量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
