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槽式濕法清洗設(shè)備品牌
盛美半導(dǎo)體產(chǎn)地
美國(guó)樣本
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小尺寸，高產(chǎn)能
先進(jìn)的IPA干燥方式
工序可靈活編輯
無(wú)盒式（No-Cassette）50片晶圓批次處理
節(jié)能減排，降低成本
配備先進(jìn)的IPA干燥槽
配備穩(wěn)定的晶圓傳輸系統(tǒng)
模塊化設(shè)計(jì)，可客制化組合選配
可選配一體式清洗模塊（多種化學(xué)藥水與純水在同一槽中進(jìn)行工藝）
可選配兆聲波清洗
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