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        8/12寸石英管(硅片加熱)清洗機
        8/12寸石英管(硅片加熱)清洗機

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        型號

        8/12寸石英管(硅片加熱)清洗機

        品牌

        江蘇聲達(dá)

        產(chǎn)地

        江蘇

        樣本

        暫無
        聲達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備(江蘇)有限公司

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        (Applicable parts)
        1-1.7米,8寸,12寸石英管(用于硅片加熱)兼容和石英部件
        1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts
        批量產(chǎn)能:
        (Capacity)
        根據(jù)客戶需求/Customerized
        工藝流程:
        (Procedure  flow)
        人工上料→爐管旋轉(zhuǎn),藥液循環(huán)清洗→藥液排放至儲酸槽→純水清洗→氮氣吹干→人工下料
        Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload
        主要材料:
        (Major material)
        金屬骨架SUS304,槽體采用PPN或PVDF
        (Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF)
        運送方式:
        (Transportation)
        手動傳送
        (Manual)
        節(jié)拍時間:
        (Step  time)
        依工藝可調(diào)
        (Based on process,Adjustable)
        工藝效果:
        (Process effect)
        清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube)
        其他說明:設(shè)備可以根據(jù)客戶要求定制手動/半自動
        (Customized:Semiautomatic or manual)
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        1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts
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        人工上料→爐管旋轉(zhuǎn),藥液循環(huán)清洗→藥液排放至儲酸槽→純水清洗→氮氣吹干→人工下料
        Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload
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        其他說明:設(shè)備可以根據(jù)客戶要求定制手動/半自動
        (Customized:Semiautomatic or manual)
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