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技術(shù)特點(diǎn)▼

u 全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀，使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測(cè)定各種晶體的方向。配備可容納長(zhǎng)達(dá)450毫米和30公斤的樣品及樣品架；

u 自動(dòng)化測(cè)量，并通過(guò)定制軟件進(jìn)行訪問(wèn)。利用Omega掃描，可在晶體旋轉(zhuǎn)(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活，但每次掃描只產(chǎn)生一個(gè)方向分量；

u 精確地確定傾斜角度，Theta掃描精度達(dá)到0.001°；

u 模塊化系統(tǒng)，并配備了多功能需求擴(kuò)展。

行業(yè)應(yīng)用▼

具有多種幾何形狀和大小的樣品

根據(jù)材料和產(chǎn)量的不同，晶體樣品可以表現(xiàn)出多種尺寸和幾何形狀。Omega/Theta X射線衍射儀可以處理大塊鋼錠或鋼球和實(shí)驗(yàn)合成的微小晶體。

非線性光學(xué)材料(NLO)：晶體質(zhì)量和定向

與典型的無(wú)機(jī)金屬、半導(dǎo)體和絕緣體相比，NLO材料具有更復(fù)雜的晶體結(jié)構(gòu)和更低的對(duì)稱性。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內(nèi)的小棒，而對(duì)這種小晶體的表面質(zhì)量測(cè)定常?？梢越沂揪w內(nèi)部的結(jié)構(gòu)缺陷和裂紋。通過(guò)對(duì)Omega/Theta的設(shè)計(jì)進(jìn)行的一些特殊的修改，我們的定向儀能夠確定許多NLO材料，如LBO， BBO和TeO2的的晶向。

平面方向的標(biāo)記和測(cè)量

Omega掃描能夠在一次測(cè)量中確定完整的晶體方位。因此，平面方向可以直接識(shí)別。這是一個(gè)有用的功能，以標(biāo)記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

搖擺曲線：晶體表面評(píng)價(jià)

搖擺曲線測(cè)量對(duì)晶格內(nèi)的缺陷和應(yīng)變場(chǎng)很敏感。將這種技術(shù)與映射階段相結(jié)合，可以掃描晶體表面并確定缺陷區(qū)域。通過(guò)裝備一個(gè)具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀，可以直接測(cè)量晶體表面某一反射的搖擺曲線映射。

如下圖顯示的結(jié)果，這種映射的碳化硅晶圓片的內(nèi)部呈現(xiàn)出兩到三倍于搖擺曲線的FWHM。這可能與表面劃痕或生長(zhǎng)缺陷有關(guān)。