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弗萊貝格DDCOM（臺式X射線晶體定向儀）采用Omega掃描方法，可以進(jìn)行超高速的晶體定向測量，用于確定各種晶體的取向。
l 方便快捷的晶圓檢測
l 用于科研 & 研發(fā)，小型實(shí)驗(yàn)工廠
l 適用多種可測量材料
l 重量輕、成本低
l 手動處理樣品
從樣品臺底部測量
- 用于晶錠、晶圓、芯片的檢測
- 控制切割、研磨、拋光等過程
超高速Omega掃描方法▼
l 比Theta掃描方法快200倍
l 自動評估三維完整的晶格方向
l 在5秒內(nèi)測定整個晶體的方位
l 易于移動和輕量級的桌面設(shè)計
l 樣品處理方便，操作方便
l 空氣冷卻x射線管能耗低，運(yùn)行成本低(無需水冷)
l 用于標(biāo)準(zhǔn)研究和工業(yè)工作流程
l 晶體方位設(shè)定及標(biāo)示
l 預(yù)編程立方晶體參數(shù)
l 先進(jìn)方便的軟件
l 精度高，例如高至(1/100)°
l 單晶的完全晶格取向
l 適用于各種尺寸和重量范圍大的獨(dú)特材料，如：2-12英寸的晶圓片和20公斤以下的晶錠
技術(shù)參數(shù)▼
X-ray 源 | 30 W氣冷式x射線管，銅陽極 |
檢測器 | 兩個閃爍計數(shù)器 |
樣品架 | 精密轉(zhuǎn)臺，設(shè)定精度0.01°，工具定義樣品定位和標(biāo)記 |
尺寸 | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
重量 | 80 kg |
電源 | 100-230 V， 100 W，單相 |
室溫要求 | ≤ 30° C |
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