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MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內(nèi)，就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，極大提高了生產(chǎn)線的成本效益和效率。且其實時質(zhì)量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
產(chǎn)品優(yōu)勢▼
在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。
適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。
適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。
Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon
Microcrystalline inclusions
Investigation of passivation quality...
Cz-Si with bulk defects， separation...
樣品厚度 | 100 μm up to 1 mm |
樣品尺寸 | 在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間，或 4”到18” |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
傳導(dǎo)類型 | p， n |
材質(zhì) | 硅晶圓，部分或完全加工的晶圓片，化合物半導(dǎo)體等 |
測量性能 | 少數(shù)載流子壽命（穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的） |
測量位置 | 默認(rèn)2.8 mm， 其它可選 |
檢測時間 | 獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒 |
尺寸 | 400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg |
電源 | 24 V DC， 4 A |
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