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德國KSI-凱斯安i-Wafer型
全自動晶圓超聲波缺陷檢測系統(tǒng)
i-Wafer系列是一款高端儀器，操作人員可選擇接收/拒絕標(biāo)準(zhǔn)，手動或自動檢測晶圓。在KSI i-Wafer的探測下，晶圓中的孔隙、分層或者雜質(zhì)都能被發(fā)現(xiàn)。尺寸在450mm的多種晶圓也能進(jìn)行檢測
新型KSI i-Wafer晶圓缺陷檢測系統(tǒng)的主要特點：
- 掃描速度高達(dá)2000mm/s
- 新型換能器
- 高質(zhì)畫面
- 同時使用1只、2只、4只換能器提高效能
- 能發(fā)現(xiàn)只有幾微米的缺陷
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