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        OAI掩膜光刻機(jī)Model 6000
        OAI掩膜光刻機(jī)Model 6000

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        美國(guó)

        樣本

        暫無(wú)
        深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

        會(huì)員

        |

        第2年

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        OAI 掩膜光刻機(jī) Model 6000型的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

        •高吞吐量(180 wph,**掩模模式)和生產(chǎn)和研發(fā)的*低運(yùn)行成本

        •ABO光學(xué)與光均質(zhì)器,以實(shí)現(xiàn)所需各種電阻的分辨率和曝光

        •用于大深度Foucs的特殊光學(xué)

        •靈活處理基板從2“平方到12”平方

        •可手動(dòng)或自動(dòng)上料

        配置。

        •系統(tǒng)配置頂部和/或底部側(cè)面/ IR 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)Vision ProR軟件

        •適用于各種基材尺寸和類型

        •基于Windows的軟件

        •菜單驅(qū)動(dòng)的GUI與工藝配方存儲(chǔ)

        •全場(chǎng)曝光,提高吞吐量

        •頂部加載口罩支架,方便,快速,安全的口罩更換

        •可選全球調(diào)平零接觸處理

        •雙臂4軸機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)(可選)

        •自調(diào)平工裝隔振

        •**的服務(wù)支持(約95%的服務(wù)水平)

        Mask Aligner - Model 6000 Features and Benefits

        • High throughput (180 wph, first mask mode) and Lowest Cost of operation for production and R&D

        • ABO Optics with light homogenizer to achieve required resolutions & exposures for various resists

        • Special Optics for Large Depth of Foucs

        • Flexibility with substrate handling from 2”sq to 12”sq

        • Comes in manual loading or automated loading configurations.

        • System configuration with top and/or bottom side / IR auto alignment with Cognex Vision ProR Software

        • Adaptable to various substrate sizes and types

        • Windows based software

        • Menu driven GUI with process recipe storage

        • Full field exposure for higher throughput

        • Top load mask holder for easy, fast and safe mask replacements

        • Optional Global leveling for zero contact processing

        • Dual arm 4-axis robot handling system (optional)

        • Self leveling tooling vibration isolation

        • Superior service support (~95% service level)

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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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        OAI掩膜光刻機(jī)Model 6000信息由深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于OAI掩膜光刻機(jī)Model 6000報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來(lái)電或留言咨詢。
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