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KSI V300E 單探頭超聲波掃描顯微鏡
1.掃描機(jī)械機(jī)構(gòu)
? X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)全是磁懸浮高速線性電機(jī)
? *X、Y軸有效**掃描區(qū)域:300mm×300mm
? *X、Y軸**掃描速率:2m/s
? X、Y軸**掃描加速度:30m/s2
? X、Y軸的重復(fù)精度:±0.1um
? 掃描驅(qū)動(dòng)裝置Z軸:自鎖步進(jìn)馬達(dá)
? Z軸的重復(fù)精度:±0.25um
? 具有自動(dòng)對(duì)焦功能
? Z軸升降行程:100mm
2.脈沖信號(hào)收發(fā)器和換能器
? 掃描工作模式:?jiǎn)瓮ǖ拦ぷ髂J?/span>
? 脈沖信號(hào)收發(fā)器帶寬:5MHz~500MHz
? 射頻總增益:72dB,以1dB/步增減調(diào)節(jié)
? *換能器要求及數(shù)量:
15MHz/f=0.75” 1個(gè) ,檢測(cè)TO封裝等的厚型塑封器件
30MHz/f=12.7mm 1個(gè) ,檢測(cè)常規(guī)的塑封器件
40MHz/f=20mm 1個(gè) ,檢測(cè)IGBT等大功率模組
110MHz/f=8mm 1個(gè) ,檢測(cè)Flipchip/BGA等薄型器件
175MHz/f=8mm 1個(gè) ,檢測(cè)**型結(jié)構(gòu)的器件或新設(shè)計(jì)
透射模組(含20MHz接收探頭) 1套,用來做IC的快速批量檢測(cè)或PCB板的檢測(cè)
? 模數(shù)轉(zhuǎn)換卡ADC 1GHz
? 聲學(xué)圖像放大倍數(shù)大于200×
3.樣品槽/工裝/過濾系統(tǒng)
? 樣品槽尺寸: 546mm×860mm×120mm(W×D×H)
? 機(jī)器內(nèi)含自凈過濾系統(tǒng)
4.軟件
4.1控制軟件KSI VISION
? 軟件界面語(yǔ)言:英文
? 掃描模式:
1) 點(diǎn)掃描(A-Scan)
2) 縱剖掃描(B-Scan)
3) 橫剖掃描(C-Scan)
4) 斜剖掃描(D-Scan)
5) 多層橫剖掃描(X-Scan)
6) 多配置多層橫剖掃描(G-Scan)
7) 序列掃描(Sequence-Scan)
8) 自動(dòng)掃描(Auto-Scan)
9) 3D掃描(3D-Scan)
10) Z掃描(Z-Scan)
11) 高質(zhì)量掃描(HQ-Scan)
? 保存圖像格式:BMP、JPG、及保存所有尺寸及聲波信號(hào)的原始聲學(xué)圖像格式(SAM、SAZ);
? **圖像采樣像素:32000×32000像素
? **采樣分辨率:1um (1000像素/毫米)
? *小門限時(shí)間:2ns
? 軟件主要功能:
1) 掃描過程中調(diào)節(jié)增益、門限時(shí)間、門限位置、門限延遲;
2) 厚度和距離測(cè)量
3) 分層缺陷著色
4) 掃描圖像復(fù)位功能,輕松重構(gòu)超掃圖像; l
5) 3D圖像
6) 設(shè)置參數(shù)均會(huì)自動(dòng)存儲(chǔ),包括:A波形圖、功率設(shè)置、增益、數(shù)字門限延遲、門限寬度;
7) 閾值、正負(fù)波峰相位檢測(cè)包括:幅值、均值、雙極;
8) 被測(cè)樣品掃描尺寸和定位選擇、相位檢測(cè)、表面跟蹤、采樣圖像分辨率選擇;
*4.2 三維圖像掃描/旋轉(zhuǎn)/剪切軟件包KSI 4D VOLUME
? 能對(duì)聲學(xué)圖像進(jìn)行三維掃描、旋轉(zhuǎn)、剖切等處理,直觀地再現(xiàn)被測(cè)樣品的空間感。
*4.3 二維圖像分析軟件包 KSI VSION VIEW
? 易用的圖像分析軟件包KSI VSION VIEW,包括缺陷面積百分比統(tǒng)計(jì)、著色處理等常用的聲學(xué)圖像分析功能;
5.工控機(jī)配置:
? Intel酷睿雙核處理器,核心頻率大于2.6GHz
? 正版Windows10操作系統(tǒng)英文版
? 24寸 平板顯示器 2個(gè)
? 128GB固態(tài)硬盤 + 1000 GB 機(jī)械硬盤
? 8 GB RAM 內(nèi)存
可選配置包括如下:
① 能壓制水花的防誤判低噪探頭,從5MHz, 10MHz, 30MHz, 40MHz, 50MHz ………….230MH, 300MHz,330Hz,400MHz可選 (共200個(gè)多,機(jī)器標(biāo)配已含15MHz探頭1個(gè)
② 二維圖像缺陷分析軟件包Ksi vision View
③ 三維圖像缺陷分析軟件包Ksi Volume4D
④ 主控軟件離線版 Ksi Vision (該軟件也可以在普通辦公電腦上運(yùn)行)
⑤ 透射探頭套裝
⑥ 雙顯示器配置
⑦ 定制特殊樣品臺(tái)
暫無數(shù)據(jù)!