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該設備是半導體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設備之一，用于大規(guī)模集成電路、 分立器件、電力電子、光電器件等行業(yè)的氧化、擴散、退火、合金等工藝。
氧化工藝：主要用于初始氧化層、柵氧化層、場氧化層等多種氧化介質層的制備工藝。
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