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應(yīng)用于半導(dǎo)體裝備的石墨或陶瓷碳化硅涂層生產(chǎn),具有工藝氣體控制精度高、涂層均勻致密、涂層與基底結(jié)合良好、自動化程度高、可一鍵啟動等特點。
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王平所長應(yīng)邀參加長沙市建設(shè)國家科技創(chuàng)新中心座談會9月29日，中國電科48所王平所長應(yīng)邀參加長沙市建設(shè)國家科技創(chuàng)新中心座談會暨長沙市與高等院校（科研院所）創(chuàng)新發(fā)展聯(lián)盟啟動及簽約儀式。湖南省委常委、長沙市
吳桂英會見48所所長王平8月16日下午，湖南省委常委、長沙市委書記吳桂英會見中國電子科技集團公司第四十八研究所（以下簡稱“中國電科48所”）所長王平一行。 長沙市領(lǐng)導(dǎo)譚勇、邱繼興參加。 吳桂英代表市委
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