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            LPCVD 臥式
            LPCVD 臥式

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            型號

            LPCVD 臥式

            品牌

            山東力冠

            產(chǎn)地

            山東

            樣本

            暫無
            山東力冠微電子裝備有限公司

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            概要:

            ? LPCVD設(shè)備是半導(dǎo)體集成電路制造的重要設(shè)備之一, 主要用于多晶硅、氮化硅、氧化硅薄膜的生長,它是將原材料氣體(或者液態(tài)源氣化)用熱能激活發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而在基片表面生成固體薄膜,LPCVD過程是在低壓下進(jìn)行的,由于氣壓低,氣體分子平均自由程大,使生長的薄膜均勻性好,此外基片可以豎放使得設(shè)備裝片量大,特別適用于工業(yè)化生產(chǎn)


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