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            四方儀器 紅外氣體傳感器 Gasboard-2061
            四方儀器 紅外氣體傳感器 Gasboard-2061

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            型號

            Gasboard-2061

            品牌

            四方儀器

            產(chǎn)地

            湖北武漢

            樣本

            暫無
            四方光電(武漢)儀器有限公司

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            第2年

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            紅外氣體傳感器 Gasboard-2061.jpg

            產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

            產(chǎn)品型號:Gasboard-2061


            紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

            紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


            紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

            • 使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

            • 響應(yīng)時間快,高靈敏度

            • 無耗材

            • 模擬/數(shù)字通信

            • 模塊化設(shè)計,便于集成


            紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)

            檢測原理NDIR
            檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
            量程1~264ppm(0~200mTorr)
            重復(fù)性±0.5%
            線性±1%F.S.
            檢測限1ppm


            創(chuàng)新點(diǎn)

            使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

            響應(yīng)時間快,高靈敏度

            無耗材

            模擬/數(shù)字通信

            模塊化設(shè)計,便于集成

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