非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
≤±1℃最高溫度：
1100℃額定溫度：
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序號 | 指標名稱 | 主要技術(shù)指標 |
1 | 晶圓尺寸 | 8英寸 |
2 | **溫度 | 1100℃（石英） |
1250℃（碳化硅） | ||
3 | 控溫精度 | ≤±0.5℃ |
4 | 溫度均勻性 | ≤±1℃ |
5 | 升溫速率 | 0-10℃/min |
6 | **裝載量 | 170片 |
7 | 有效工作區(qū)域 | Φ230mm×780mm |
8 | 溫區(qū)數(shù)量 | 5 |
9 | 氣路數(shù)量 | 4 |
10 | 片內(nèi)均勻性（WIW） | ≤2% |
11 | 片間均勻性（WTW） | ≤2% |
12 | 批間均勻性（RTR） | ≤2% |
13 | 新增顆粒 | ≤50（≥0.16μm） ≤30（≥0.2μm） |
14 | 金屬污染 | <5E10 atms/cm2 |
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