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        圖形化晶圓缺陷檢測設備
        圖形化晶圓缺陷檢測設備

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        面議

        型號

        圖形化晶圓缺陷檢測設備

        品牌

        昂坤視覺

        產(chǎn)地

        北京

        樣本

        暫無
        昂坤視覺(北京)科技有限公司

        高級會員

        |

        第1年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實

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         設備描述 Features 

        晶圓搬運

        EFEM: 6” / 8” SMIF or 12” FOUP

        適用晶圓

        Si/GaN/SiC

        晶圓翹曲

        不大于200um

        晶圓厚度

        350um~1.5mm(在晶圓底部打開并夾持)

        照明系統(tǒng)

        明場和斜入射暗場

        圖形化晶圓顆粒檢測靈敏度

        150nm

        非圖形化晶圓顆粒檢測靈敏度

        80nm

        檢測缺陷分類

        Particle, scratch, pit, bump, Haze map

        工藝節(jié)點

        90,130nm

         


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        10分

        售后服務

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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