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MOCVD 在線監(jiān)測系統(tǒng)系列產(chǎn)品品牌
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MOCVD在線監(jiān)測系統(tǒng)系列產(chǎn)品用于實時監(jiān)測工藝過程中晶圓的溫度，反射率和翹曲度，并提供可靠的溫度信號用于控溫，適用于各種轉(zhuǎn)速的MOCVD機臺。包括溫度反射率翹曲度在線監(jiān)測（viperRTC）、表面溫度測量（viper405）、溫度校準單元（Calibration Unit）、溫場掃描系統(tǒng)（Scanpyro）等產(chǎn)品
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