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MOCVD在線監(jiān)測系統(tǒng) viperRTC–LSS品牌
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l 適用于Aixtron Gx 每小盤多片行星式MOCVD系統(tǒng)
l 測溫波長：940nm ü測量反射率波長：940nm, 633nm 或定制
l 測量曲率波長：405nm激光
l 曲率測量傳感器：PSD
l 測溫范圍寬：450度~1450度
l 測量準(zhǔn)確度：±1度，重復(fù)性精度 <0.5度
l 一個溫度反射率測量通道，1個曲率測量通道（可配置多通道）
l 單點(diǎn)RTC探頭，同時測量溫度，反射率和曲率
l 獨(dú)有算法，可實(shí)現(xiàn)行星式多片wafer的曲率測量
viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在線監(jiān)測系統(tǒng)，用于慢轉(zhuǎn)速，多片行星式MOCVD設(shè)備，實(shí)現(xiàn)對工藝反射率（R），溫度（T）和翹曲度（C）的實(shí)時監(jiān)測。測溫信號，可用于閉環(huán)溫度控制。
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