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        E3200 GaN缺陷檢測(cè)設(shè)備
        E3200 GaN缺陷檢測(cè)設(shè)備

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        型號(hào)

        E3200 GaN缺陷檢測(cè)設(shè)備

        品牌

        昂坤視覺(jué)

        產(chǎn)地

        北京

        樣本

        暫無(wú)
        昂坤視覺(jué)(北京)科技有限公司

        高級(jí)會(huì)員

        |

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        E3200是針對(duì)GaN 功率器件和HB GaN LED應(yīng)用,可以檢測(cè)GaN襯底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和熒光缺陷,*小檢測(cè)顆粒81nm??梢詸z測(cè)并區(qū)分顆粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、劃傷(scratch)、污點(diǎn)(stain)、裂紋(crack)、PL 黑點(diǎn)、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及熒光缺陷。支持4@、6@、8@晶圓檢測(cè),具有高產(chǎn)能、檢測(cè)準(zhǔn)確和檢出率高的優(yōu)點(diǎn)。

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