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            Wafer XRD
            Wafer XRD

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            型號

            Wafer

            品牌

            馬爾文帕納科

            產(chǎn)地

            荷蘭

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            馬爾文帕納科

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            Wafer XRD用于全自動晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制


            特點

            • 適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸

            • FOUP、載具或單個晶圓臺

            • 跨槽晶圓識別為可選功能

            • 易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中

            • 測量速度:每個樣品<10秒

            • 典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(傾斜度):例如Si 100<0.003°

            • MES和SECS/GEM接口

            • 銅靶微焦點風(fēng)冷X射線光管(**30W)或細(xì)焦點水冷X射線光管(**1.5kW)

            • 完全符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置

            • 通過3色燈塔指示狀



            材料

            Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石(Al?O?)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。


            可選插件

            • 電阻率測量范圍:0.01至0.020Ωcm

            • 自動識別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類似代碼

            • 未拋光晶圓和鏡面的距離測量



            160916_176607_procont.jpg

            年產(chǎn)1,000,000片晶圓

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            電池/電源

            2021-08-06

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            易用性

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            性價比

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