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美國(guó)FSM應(yīng)力儀
-----應(yīng)力測(cè)試專家,為行業(yè)**應(yīng)力儀!
Semi-Auto(半自動(dòng)) Fully-Auto(全自動(dòng))
* 自動(dòng)切換的雙光路波長(zhǎng):650納米和780納米
* 測(cè)量方式:直徑方向的掃描,可提供形貌圖
* 掃描范圍:對(duì)于200mm的硅晶圓為194mm
* 3-D形貌圖:測(cè)量臺(tái)有旋轉(zhuǎn)功能,可通過控制軟件中的參數(shù)輸入來(lái)旋轉(zhuǎn)測(cè)量臺(tái),以完成形貌圖的測(cè)量(至少需要測(cè)量6個(gè)方向的掃描)
* 測(cè)量的硅晶圓尺寸: 200mm
* 應(yīng)力測(cè)量的范圍:1X107 dynes/cm2 至 4X1010 dynes/cm2(對(duì)于典型的硅晶圓)
* 測(cè)量數(shù)據(jù)輸出:測(cè)量數(shù)據(jù)表格為客戶提供的參數(shù)包括,料盒的編號(hào)、晶圓的編號(hào)、測(cè)量次數(shù)的編號(hào)、應(yīng)力數(shù)值、晶圓曲率半徑的數(shù)值、晶圓基片的厚度和鍍膜的厚度,以及測(cè)量時(shí)間。測(cè)量數(shù)據(jù)可選擇輸出為Excel格式,文本文檔格式,同時(shí)可以輸出樣品形貌圖
* 客戶包括Intel,Samsung,LG IBM等等。
有任何需要賽倫科技(上海,北京都有辦事處)
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