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            FSM128非接觸薄膜應(yīng)力測(cè)試
            FSM128非接觸薄膜應(yīng)力測(cè)試

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            美國(guó)

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            賽倫科技

            會(huì)員

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            第2年

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            美國(guó)FSM應(yīng)力儀

            -----應(yīng)力測(cè)試專家,為行業(yè)**應(yīng)力儀!

            Semi-Auto(半自動(dòng)) Fully-Auto(全自動(dòng))

            * 自動(dòng)切換的雙光路波長(zhǎng):650納米和780納米

            * 測(cè)量方式:直徑方向的掃描,可提供形貌圖

            * 掃描范圍:對(duì)于200mm的硅晶圓為194mm

            * 3-D形貌圖:測(cè)量臺(tái)有旋轉(zhuǎn)功能,可通過控制軟件中的參數(shù)輸入來(lái)旋轉(zhuǎn)測(cè)量臺(tái),以完成形貌圖的測(cè)量(至少需要測(cè)量6個(gè)方向的掃描)

            * 測(cè)量的硅晶圓尺寸: 200mm

            * 應(yīng)力測(cè)量的范圍:1X107 dynes/cm2 4X1010 dynes/cm2(對(duì)于典型的硅晶圓)

            * 測(cè)量數(shù)據(jù)輸出:測(cè)量數(shù)據(jù)表格為客戶提供的參數(shù)包括,料盒的編號(hào)、晶圓的編號(hào)、測(cè)量次數(shù)的編號(hào)、應(yīng)力數(shù)值、晶圓曲率半徑的數(shù)值、晶圓基片的厚度和鍍膜的厚度,以及測(cè)量時(shí)間。測(cè)量數(shù)據(jù)可選擇輸出為Excel格式,文本文檔格式,同時(shí)可以輸出樣品形貌圖

            * 客戶包括Intel,Samsung,LG IBM等。

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