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非接觸式可靠性MApping測(cè)量系統(tǒng)COREMA-WT提供無(wú)損全晶圓電阻率表征，具有極高的精度，分辨率和測(cè)量速度。它基于德國(guó)弗賴(lài)堡Fraunhofer應(yīng)用固態(tài)物理研究所開(kāi)發(fā)的非接觸電容技術(shù)。對(duì)于確定晶片橫向均勻性的制造工藝步驟的詳細(xì)但快速的生產(chǎn)兼容控制是*有價(jià)值的。***地支持探索性流程優(yōu)化。

晶片上方和下方的電容金屬電極通過(guò)快速且精確的xy平移定位。他們?cè)谒璧臏y(cè)量點(diǎn)定義了本地樣品和空氣電容器。將充電電壓步驟施加到RC電路并記錄動(dòng)態(tài)電荷再分配。從初始和*終電荷值和弛豫時(shí)間獲得電阻率。由于基于**原理的評(píng)估僅使用相對(duì)單元并且因?yàn)樗袔缀螀?shù)抵消，所以以**單位獲得電阻率值而不涉及任何儀器校準(zhǔn)因子?？梢允褂脴?biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法文檔（DIN 50447）。

單個(gè)測(cè)量只需要幾分之一秒。因此，在非?？山邮艿臅r(shí)間內(nèi)獲得完整的晶片形貌。例如，記錄和評(píng)估在數(shù)據(jù)點(diǎn)之間具有1.4mm步長(zhǎng)的100mm直徑的晶片形貌圖大約需要20分鐘。

該系統(tǒng)通常由供應(yīng)商和客戶(hù)用于半絕緣晶片的常規(guī)生產(chǎn)控制和質(zhì)量評(píng)估。電阻率測(cè)量范圍為1E6至1E9Ωcm的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)優(yōu)先用于GaAs和InP。對(duì)于SiC和GaN，可提供具有1E5至1E12Ωcm擴(kuò)展范圍的系統(tǒng)。

完整的測(cè)量過(guò)程，包括數(shù)據(jù)評(píng)估和專(zhuān)業(yè)演示，由基于Microsoft Windows的用戶(hù)友好型軟件支持和控制。軟件界面包括設(shè)置所需的測(cè)量程序，在線(xiàn)監(jiān)控測(cè)量過(guò)程，顯示地形數(shù)據(jù)和詳細(xì)的統(tǒng)計(jì)評(píng)估。提供各種地形顯示，包括灰度，彩色編碼以及偽3D表示，提供令人信服的，以客戶(hù)為導(dǎo)向的產(chǎn)品質(zhì)量以及評(píng)估和規(guī)范驗(yàn)證。

SemiMap分析系統(tǒng)：

其他半導(dǎo)體測(cè)量系統(tǒng)

超高半導(dǎo)體電阻率測(cè)量

產(chǎn)品名稱(chēng)：SemiMap Analytical Systems

產(chǎn)品編號(hào)：COREMA-WT

制造商：SemiMap Scientific Instruments GmbH

介紹：

測(cè)量范圍1x106 1x109Ohm*cm

探頭尺寸1mm 直徑

重復(fù)性?xún)?yōu)于1％

邊緣排除2.5mm

電阻率評(píng)估時(shí)間270 ms @ 1E7 Ohm * cm，包括1 mm步進(jìn)轉(zhuǎn)換時(shí)間

晶圓評(píng)估時(shí)間為20毫米晶圓和1.4毫米x 1.4毫米步長(zhǎng)20分鐘

溫度校正基于卡盤(pán)的電阻率溫度測(cè)量

歸一化到指定的溫度