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Filmetrics F54 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)厚儀
Filmetrics 薄膜測(cè)厚儀 F54薄膜測(cè)厚儀
Filmetrics 薄膜測(cè)厚儀 F54薄膜測(cè)厚儀 優(yōu)勢(shì)
桌面型膜厚測(cè)量?jī)x的全球***
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附 加 特 性
嵌入式在線診斷方式
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精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效的存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果
免費(fèi)現(xiàn)場(chǎng)演示/支持
點(diǎn)幾下鼠標(biāo)就可以在網(wǎng)絡(luò)上在線看到現(xiàn)場(chǎng)演示!我們,我們的應(yīng)用工程師會(huì)在電腦上為您演示薄膜測(cè)量是多么容易
自動(dòng)化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)
依靠 F54 先進(jìn)的光譜測(cè)量系統(tǒng),可以很簡(jiǎn)單快速地獲得**直徑 450 毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以非??焖俚亩ㄎ凰铚y(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,測(cè)試非??焖?,大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。 系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。
可測(cè)樣品膜層
基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量??蓽y(cè)樣品包括:
相關(guān)應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
光刻膠 氧化物/氮化物/SOI 晶圓研磨減薄/封裝
液晶顯示器
盒厚 聚酰亞胺 ITO
光學(xué)鍍膜
硬涂層 抗反射涂層 濾光片
微電子
光刻膠 硅膜 氧化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡
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