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F40薄膜厚度測(cè)量?jī)x
結(jié)合顯微鏡的薄膜測(cè)量系統(tǒng)
Filmetrics F40-EXR 搭配 SS-Microscope-EXR-1系統(tǒng)
Filmetrics的精密光譜測(cè)量系統(tǒng)讓用戶(hù)簡(jiǎn)單快速地測(cè)量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過(guò)對(duì)待測(cè)膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測(cè)量結(jié)果。當(dāng)測(cè)量需要在待測(cè)樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行,或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時(shí),F40是zui好的選擇。使用先前足部校正顯微鏡的物鏡,再進(jìn)行測(cè)量,即可獲得精zhun的厚度及光學(xué)參數(shù)值。只要透過(guò)Filmetrics的C-mount連接附件,F40就可以和市面上多數(shù)的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭,可以讓用戶(hù)從電腦屏幕上清晰地看樣品和測(cè)量位置。
* 取決于材料
1.使用5X物鏡參考
2.是基于連續(xù)20天,每天在Si基底上對(duì)厚度為500納米的SiO2 薄膜樣品連續(xù)測(cè)
量100次所得厚度值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值
3.是基于連續(xù)20天,每天在Si基底上對(duì)厚度為500納米的SiO2薄膜樣品連續(xù)測(cè)
量100次所得厚度值的2倍標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值
選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)
• 桌面式薄膜厚度測(cè)量的全球**者
• 24小時(shí)電話(huà),E-mail和在線(xiàn)支持
• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件
附 加 特 性
• 嵌入式在線(xiàn)診斷方式
• 免費(fèi)離線(xiàn)分析軟件
• 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶(hù)有效地存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果
相關(guān)應(yīng)用
半導(dǎo)體制造生物醫(yī)學(xué)原件
• 光刻膠 • 聚合物/聚對(duì)二甲苯
• 氧化物/氮化物 • 生物膜/球囊壁厚度
• 硅或其他半導(dǎo)體膜層 • 植入藥物涂層
微電子液晶顯示器
• 光刻膠 • 盒厚
• 硅膜 • 聚酰亞胺
•氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡 • 導(dǎo)電透明膜
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