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KLA 探針式表面輪廓儀（臺階儀） P-17
P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
P-17是第八代臺式探針輪廓儀（臺階儀），是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
該系統(tǒng)結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。
· 臺階高度：幾納米至1000μm
· 微力恒力控制：0.03至50mg
· 樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 軟件：簡單易用的軟件界面
· 生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化
· 臺階高度：2D和3D臺階高度
· 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
· 形狀：2D和3D翹曲和形狀
· 應力：2D和3D薄膜應力
· 缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
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