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MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤(pán)，標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺(tái)分度，為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟(jì)高效且易于使用的解決方案。晶圓級(jí)可靠性測(cè)試需求。這些半自動(dòng)探針臺(tái)有三種選擇（標(biāo)準(zhǔn)，高精度和高速）。
光滑的粉末涂層鋼板可容納多達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器。
通過(guò)位于站兩側(cè)的終端隔離饋通，可以方便地連接微定位器，可以為BNC，Triax或Banana插頭連接進(jìn)行定制。
標(biāo)準(zhǔn)吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級(jí)定位。
可用的RF選項(xiàng)包括可定制的RF探頭，RF偏置卡盤(pán)和屏蔽罩。
高分辨率復(fù)合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機(jī)選擇。
射頻可偏置卡盤(pán)和屏蔽罩。
拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤(pán)。
超完全真空泵。
標(biāo)準(zhǔn)半自動(dòng)化系統(tǒng)
電動(dòng)XY夾頭，SPS-2600中的電動(dòng)壓板，SPS 2800中卡盤(pán)的電動(dòng)Z軸運(yùn)動(dòng)，標(biāo)準(zhǔn)配置。Motorized theta是一種選擇。
基于步進(jìn)電機(jī)，無(wú)編碼器。
**成本競(jìng)爭(zhēng)力
強(qiáng)烈推薦用于需要低于0°C的測(cè)試或屏蔽的應(yīng)用
可用選項(xiàng)：加熱或冷卻卡盤(pán)，變焦鏡或復(fù)合顯微鏡，各種屏蔽，用于直流和射頻測(cè)量的卡盤(pán)選擇等等
型號(hào) | SPS-2800 | SPS-2600 | |
晶圓尺寸 | 高達(dá)200mm | 高達(dá)100mm | |
電機(jī)類(lèi)型 | 步進(jìn)電機(jī) | ||
XY舞臺(tái)行程 | 高達(dá)200mmx200mm | 高達(dá)125mmx125mm | |
XY舞臺(tái)分辨率 | 電動(dòng)，6.5μm重復(fù)性 | ||
顯微鏡 | 高品質(zhì)立體聲變焦，工作距離可達(dá)200mm，放大倍率范圍為3.5X至180X | ||
饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
系統(tǒng)尺寸 | 122厘米寬x122厘米深x 92厘米高 | 78厘米寬x80厘米深x 58厘米高 | |
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