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SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級(jí)可靠性測(cè)試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持*多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測(cè)。
高分辨率復(fù)合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機(jī)選擇。
射頻可偏置卡盤(pán)和屏蔽罩。
拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤(pán)。
超完全真空泵。
溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤(pán)（也可以使用更高的溫度）。
適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。
可選擇XY平移臺(tái)和超堅(jiān)固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。
高分辨率復(fù)合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機(jī)選擇。
射頻可偏置卡盤(pán)和屏蔽罩。
拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤(pán)。
超完全真空泵。
溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤(pán)（也可以使用更高的溫度）。
適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。
可選擇XY平移臺(tái)和超堅(jiān)固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。
| 型號(hào) | SPS-12000-HP | SPS-2800-HP | SPS-2600-HP |
| 晶圓尺寸 | 高達(dá)300mm | 高達(dá)200mm | 高達(dá)100mm |
| 電機(jī)類(lèi)型 | 步進(jìn)電機(jī) | ||
| XY舞臺(tái)行程 | 高達(dá)300mmx300mm | 高達(dá)200mmx200mm | 高達(dá)100mmx100mm |
| 饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
| 系統(tǒng)尺寸 | 101CM寬x91CM深x 88CM高 | 122CM寬x122CM深x 92CM高 | 78CM寬x80CM深x 58CM高 |
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