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        HORIBA在線橢偏儀 In-situ series
        HORIBA在線橢偏儀 In-situ series

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        型號

        In-situ series

        品牌

        HORIBA

        產(chǎn)地

        上海

        樣本

        暫無
        HORIBA科學儀器事業(yè)部

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          -
        • 儀器原理:

          其他
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          -
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        儀器介紹:
        在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學常數(shù)(n,k)變化。
         
        技術參數(shù):
        ·可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化
         
        主要特點:
        將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設備,可實現(xiàn):
        · 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化
        · 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分

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        10分
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