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PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學(xué)測量系統(tǒng)采用全新的O圈輔助密封設(shè)計(jì),攻克了以往原位液體解決方案裝樣困難的問題。實(shí)驗(yàn)中,樣品被密封在很薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi),池內(nèi)可以承載一個大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路,從而在掃描電鏡中搭建一個液體-電化學(xué)測試環(huán)境。
性能指標(biāo):
●兼容指定型號SEM;
● 保證SEM真空度;
● 液體池間隔層厚度100 nm;
● 液體池內(nèi)可載入氣體或液體,池內(nèi)可承載1個大氣壓,池外滿足電鏡真空要求;
● 電壓輸出±200 V,分辨率±100 nV;
● 電流測量±1.5 A,分辨率±100 fA;
● 恒壓或者恒流模式;
● 自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t)測量,自動保存。
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