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ZEM Ultra 臺式掃描電鏡采用肖特基場發(fā)射電子源,三級獨立真空設計,優(yōu)于2.5nm的分辨率滿足多數(shù)樣品微納結構表征需求。標配大束流及大樣品倉,支持原位功能樣品臺及EDS/EBSD拓展。
產品特色:
▲ 易用性強
▲ 全自動操作
▲ 肖特基場發(fā)射電子槍
▲ 高穩(wěn)定性
▲ 高分辨觀測
▲ 豐富拓展
應用案例:
金顆粒150000X (左)碳納米管 20000X(右)
磷酸鐵鋰 30000X(左)二氧化硅 100000X(右)
主要指標 | ZEM Ultra |
分辨率 | <2.5 nm |
放大倍數(shù) | 50萬倍 |
圖像像素尺寸(默認) | 512*512(視頻)2048*2048(拍照) |
加速電壓 | 1-15kv連續(xù)可調 |
燈絲類型 | 場發(fā)射燈絲 |
電動樣品臺 | XY二軸/XYZ三軸/XYT三軸/五軸 |
探測器類型 | BSE、SE、EDS |
減速模式 | 選配(0-10kv樣品臺電壓減速) |
光學導航 | 光學導航、倉內相機 |
樣品倉內部尺寸 | 176mm寬*185mm長*125mm高 |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、大圖拼接 |
原位臺拓展功能 | 具備 |
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