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RSV系列
專為半導(dǎo)體中等，嚴(yán)苛制程使用 抽氣速率：75-3000m3/h
采用一體型螺桿式設(shè)計(jì)，獨(dú)特的軸承設(shè)計(jì)，極寬泛的溫 度控制范圍50-125攝氏度，可采用特殊高鎳材質(zhì)。
適應(yīng)于大量粉塵，高腐蝕的半導(dǎo)體工藝制程
項(xiàng) 目 機(jī)型 | 單位 | RSV100 | RSV200 | RSV700 | RSV1200 | RSV1800 | RSV3000 | |
抽氣速率 Pumpspeed50/60) | L/min | 1666 | 3333 | 11666 | 20000 | 30000 | 50000 | |
M3/H | 100 | 200 | 700 | 1200 | 1800 | 3000 | ||
極限壓力 UItimoate Pressure | Torr | 75×103 | Z5×10? | |||||
mbar | 1×10~2 | 1×103 | ||||||
Pa | 1 | 1×10- | ||||||
馬達(dá) Motor | 顏定功率 Rated power | KW | 4 | 5.5 | 6.2 | 8 | 8 | 15 |
底壓功率 Uitimate Pressure Power | KW | 2.5 | 3 | 3.2 | 3.5 | 4 | 11 | |
管路連接 Connection | 入氣口 Inlet | KF50 | KF50 | ISO100 | SO100 | ISO160 | ISO200 | |
出智 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | ||
冷卻水 Cooing water | * 低 | L/MIN | 3 | 5 | ||||
**壓力 MaxPressure | kg/cm3 | 4 | ||||||
等rer | kg/cm3 | 1 | ||||||
濕度 Temp | ℃ | 10-40 | ||||||
ection | PT 3/8 | |||||||
氮?dú)?/span> ( 選 配 ) N2 | eure | Mpa | 0.05-0.2 | |||||
流量 How | slm | 6-10(Sealing gas) 0-50(Dilute)注 | ||||||
necten | Swagelok 1/4” | |||||||
尺寸Dim | 芒×案×高 | mm | 940×400×503 | 1192×444×650 | 900×400×744 | 1050×444×86 | 090×444×895 | 1150×460×560 |
重量Weight | kg | 270 | 330 | 380 | 555 | 730 | 710 | |
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