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MR系列半導(dǎo)體品牌
銳昇聚創(chuàng)產(chǎn)地
江蘇樣本
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MR系列
專為LL 工藝設(shè)計。
抽氣速率：100-180m3/h
**小的體積 **的功耗
**經(jīng)濟(jì)的維修保養(yǎng)費用
項 目 機型 | 單位 | MR100 | MR180 | |
抽氣速率Pump spoodx50/601 | L/min | 1660 | 3000 | |
極限壓力Utimoate Pressure | Pa | 1.5 | ||
底壓功率UItimate Prossure Power | KW | 0.7 | 1 | |
管路連接 Connection | 入氣口 | KF50 | KF50 | |
KF25 | KF25 | |||
冷卻水 Cooling water | L/MIN | 2-3 | ||
溫度 Temp | ℃ | 10-25 | ||
尺寸Dim. | 長x率×高 | mm | 450×230×275 | 550×280×299 |
重量Weight | kg | 60 | 95 | |
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