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        碳膜濺射設(shè)備 CS-200
        碳膜濺射設(shè)備 CS-200

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        面議

        型號

        碳膜濺射設(shè)備 CS-200

        品牌

        萬德思諾

        產(chǎn)地

        天津

        樣本

        暫無
        天津市萬德思諾國際貿(mào)易有限公司

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        產(chǎn)品型號:

        CS-200

        產(chǎn)品介紹:

        Dense carbon film for high temp. anneal

        Max. Substrate φ200㎜(Transfer tray available)

         

        產(chǎn)品特點:


          • 1. Key point for carbon process
            - Front(Ion Implantation) and Back(Annealing) processes are well known.

        •  

          • 2. Good process experience for CC deposition
            - AIST and SIC production company uses ULVAC system.

        •  

          •  3. Optional items
            - High temp stage, RF stage bias, 3MFC line, DRP, etc.

         


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