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            臺面式等離子體增強真空回轉爐
            臺面式等離子體增強真空回轉爐

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            面議

            型號

            BTF-1200C-R-PECVD

            品牌

            貝意克

            產地

            安徽合肥

            樣本

            暫無
            安徽貝意克設備技術有限公司

            金牌會員

            |

            第13年

            |

            生產商

            工商已核實

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            核心參數
            • 非金屬電熱元件:

              其他
            • 金屬電熱元件:

              鐵鉻鋁絲
            • 燒結氣氛:

              其他
            • 溫控精度:

              ±1℃
            • 最高溫度:

              1200℃
            • 額定溫度:

              ≤1100℃
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            一、產品特色

            該款設備是全自動Plasma增強PECVD系統(tǒng),連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統(tǒng),可以低壓條件下進行實驗,PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產生區(qū),輝光相對均勻等效,有效的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),該設備爐管可360°旋轉,有助于粉料的燒結更均勻。


            二、設備組成

            1)加熱系統(tǒng)2)Plasma系統(tǒng)3)爐管轉動系統(tǒng)4)觸屏操作系統(tǒng)5)進出氣法蘭組件6)爐管 7)真空系統(tǒng)。

            (1)加熱系統(tǒng):

            該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,該系統(tǒng)設置有超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求。溫區(qū)為單溫區(qū),溫區(qū)長440mm,異形石英管規(guī)格采用Φ60*Φ100*1200。

            (2)Plasma系統(tǒng):

            本系統(tǒng)借助于輝光放電產生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過反應氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式。

            (3)爐管轉動系統(tǒng):

            爐管轉動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉動,轉速在0.25-25r/min連續(xù)可調。

            (4)觸屏操作系統(tǒng):該系統(tǒng)可以讓設備在自動模式下高度自動化運行,所有參數程序設定好后自動運行:可實現按照設定程序連續(xù)工作,可設置多工作段不同參數,并可進行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。

            (5) 進出氣法蘭組件:設備法蘭左端為進氣端,一側配有球閥控制的進氣口,另一側預留KF25接口,上部配有壓力表,左側端面為KF50接口。右端為出氣端,一側由球閥控制的出氣口,另一側為KF25抽口,上部配有真空計,右側端面為KF50接口。

            (6)爐管:爐管為異形石英管,通過左右兩端磁流體密封法蘭實現真空下的回轉,

            (7)真空系統(tǒng):由一個電容真空計和一臺DRV16機械泵組成,抽口端由KF25手動擋板閥控制,并配有粉塵過濾器。


            三、技術參數

            額定功率

            4KW

            額定電壓

            AC 220V

            **溫度

            1200℃

            使用溫度

            ≤1100℃

            爐管尺寸

            異型管 Φ60*100*1200mm一根

            爐管旋轉速率

            3~13r/min

            熱電偶類型

            K型熱電偶

            控溫精度

            ±1℃

            控溫方式

            模糊PID控制和自動整定調節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

            射頻功率范圍

            0-500W

            加熱長度

            440mm

            恒溫長度

            200mm

            加熱元件

            電阻絲


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            10分

            售后服務

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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