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LHC-20品牌
力信達(dá)產(chǎn)地
江西贛州樣本
暫無非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±5最高溫度：
1050額定溫度：
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一、設(shè)備簡介
碳基前驅(qū)體添加到流化床沉積爐內(nèi)，通入高溫氣體，硅烷高溫裂解，沉積在多孔碳的表面，得到包覆改性物料，相比傳統(tǒng)CVD爐氣固相接觸充分，包覆硅時包覆層比傳統(tǒng)工藝更均勻，反應(yīng)區(qū)的溫度控制均勻，溫度精度一致性更好。
二、技術(shù)參數(shù)
1. 載氣：N2、H2、Ar
2. 反應(yīng)氣體:CH4、C2H2、C3H6、SiH4等
3. 每批處理量： 10kg≤Q≤150kg
4. 操作溫度： ≤800℃
5. 操作壓力： ≤10Kpa
6. 卸料溫度： ≤200℃
7. 氧指數(shù)： ≤50ppm
暫無數(shù)據(jù)！
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