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            回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備
            回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備

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            BTF-1200C-V-R-280

            品牌

            貝意克

            產(chǎn)地

            安徽

            樣本

            暫無
            安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

            金牌會員

            |

            第13年

            |

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            • 金屬電熱元件:

              鐵鉻鋁絲
            • 燒結(jié)氣氛:

              真空
            • 溫控精度:

              ±1℃
            • 最高溫度:

              1200℃
            • 額定溫度:

              1100℃
            • 非金屬電熱元件:

              其他
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            一、設(shè)備特點:

            1、本設(shè)備提供一個五溫區(qū)的超長溫場,五個溫區(qū)可獨立控制

            2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動開啟。

            3、流量計和加熱采用模塊化設(shè)計,便于維護保養(yǎng)。

            4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲,**使用溫度可以達到1200度,溫場均勻,使用壽命長。

            5、采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動記錄保持。

            6、設(shè)備集成化設(shè)計、以及集成化管理,美觀方便。

             

            二、設(shè)備組成:加熱系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng),螺旋送料系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。

            1、加熱系統(tǒng):

            該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研實驗處理,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件為K型熱電偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

            高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

             

            2、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng):

            爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)更均勻。

             

            3、螺旋送料器:

            先將樣品儲存于樣品罐中,通過螺旋送料器將樣品送入石英管內(nèi)。送料完成之后送料桿退回到原始位置。周而復(fù)始,達到自動送料。


            4、供氣系統(tǒng):

            供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比,也可根據(jù)實驗需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動機柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。


            5、真空系統(tǒng):

            真空機組,內(nèi)部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

             

             

            三、加熱主體設(shè)備技術(shù)參數(shù):

             

            腔體尺寸

            外徑Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可選 (中間異型區(qū)域尺寸)

            爐膛保溫材料

            氧化鋁纖維

            表面溫度

            ≤60℃

            加熱元件

            進口KTL電阻絲

            加熱區(qū)數(shù)量

            5區(qū),每個溫度獨立控制,使溫場均勻性更好

            加熱區(qū)長度

            300+300+300+300+300mm

            恒溫區(qū)長度

            真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下,五個溫區(qū)設(shè)定同一溫度使恒溫區(qū)可達1200mm

            使用溫度

            1200℃

            建議長時間使用溫度

            <1100℃

            控溫精度

            ±1℃

            升溫速率

            0-20℃/min,建議升溫速率10℃/min

            設(shè)備功率

            28KW

            設(shè)備工作電源

            380V/50HZ

            熱電偶型號

            K型

            控制器

            可編程控溫儀表,PID調(diào)節(jié),升、降保溫全自動

            控溫方式

            人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制

            無紙記錄

            內(nèi)置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

            結(jié)構(gòu)描述

            設(shè)備可對半電動開啟,加快冷卻速度、表面溫度低于60℃

            轉(zhuǎn)動密封收集系統(tǒng)

            爐管一端配有不銹鋼密封可轉(zhuǎn)動水冷法蘭、螺旋送料裝置

             

            四、3路供氣系統(tǒng)參數(shù)

            連接頭類型

            雙卡套不銹鋼接頭

            標準量程(N2)

            500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型號根據(jù)要求定制)

            耐壓

            3MPa

            接口

            Φ6

            顯示

            液晶屏顯示

            工作環(huán)境溫度

            5~45高純氣體

            內(nèi)外雙拋不銹鋼管

            Φ6

            壓力真空表

            -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

            截止閥

            Φ6卡套接頭

             

            、真空機組參數(shù):

            空氣相對濕度

            ≤85%

            工作環(huán)境

            5℃~40℃

            工作電電壓

            220V±10%  50~60HZ

            功率

            1千瓦

            抽氣速率

            60m3/h

            極限真空

            5X10-1Pa

            工作壓力范圍

            1.01325X105~1.33X10-2Pa

            耐壓值

            0.03MPa

            容油量

            1.1L

            進氣口口徑

            KF40

            排氣口口徑

            KF40

            連接方式

            采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

            電阻真空計參數(shù):

            配用規(guī)管:

            ZJ-52T電阻規(guī),

            測量范圍:

            10 5 ~10 -1 Pa,

            測量路數(shù):

            1路

            控制范圍:

             5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

            控制方式:

            繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

            電源:

            90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

            功耗:

            20W


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