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            美國Cascade EPS探針臺(tái)
            美國Cascade EPS探針臺(tái)

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            型號(hào)

            品牌

            產(chǎn)地

            美國

            樣本

            暫無
            上海納騰儀器有限公司

            會(huì)員

            |

            第2年

            |

            生產(chǎn)商

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            儀器簡介:

            Cascade Microtech 的 EPS系列測量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡單、高精確度、多功能、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái),解決了一系列的測量難題。該探針臺(tái)采用了一種模塊化設(shè)計(jì),提供了眾多的配置可能性,旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。您可以通過確定*適合自己當(dāng)前需要的 EPS模塊來設(shè)計(jì)特有的探針臺(tái),或?qū)ψ约含F(xiàn)有的 EPS進(jìn)行升級(jí)以滿足未來的測量需求。

            優(yōu)越的應(yīng)用靈活性使得EPS能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試(DWC)、失效分析(FA)、亞微米探測、MEMS和光學(xué)工程測量;EPS也能用作一個(gè)靈活的探頭卡,實(shí)現(xiàn)wafer級(jí)的可靠性應(yīng)用(WLR),能同時(shí)配備多達(dá)20個(gè)探針座。

            技術(shù)參數(shù):

            基座 基本尺寸 Z軸可移動(dòng)范圍

            標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 490mm x 490mm×480mm 10mm

            X-Y-θ平臺(tái) XY范圍 *小步長 θ范圍 晶圓范圍

            EP6標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 155mm x 155mm 5μm 360° 6寸

            主要特點(diǎn):

            1. 結(jié)構(gòu)簡單、多功能;

            2. 平臺(tái)配置可滿足DC、RF測量;

            3. 獨(dú)特的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶的需要配置和升級(jí);

            4. 量程大、可配暗箱、CCD等配件;

            擴(kuò)展功能:

            1、射頻頭部;

            2、探針卡端口;(出廠前配置)

            3、光電屏蔽箱;

            4、CCD視頻系統(tǒng);

            5、溫控模塊;(常溫-300℃可選)

            6、EPS_FA可配置激光等。

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            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
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