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        臺階儀,

        NanoMap-LS 接觸式三維表面臺階儀

        NanoMap-LS 探針接觸式 臺階儀

        特點(diǎn)

        探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面,儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài),整合數(shù)據(jù)得到臺階高度,表面形貌,溝槽深度等特征。

        雙模式操作(針尖掃描和樣品臺掃描)

        針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,

        三維掃描范圍從150mm X 150m

        樣品臺掃描掃描范圍到100mm

        納米級拋光光學(xué)參考平晶

        實(shí)時彩色光學(xué)照相機(jī)直接觀測

        雙光學(xué)傳感器 縱向測量范圍**至1000um,*小到分辨率0.1nm

        恒定微力接觸 *小0.03mg

        簡單友好的人機(jī)操作界面

        應(yīng)用

        臺階儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,臺階高度,二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三維粗糙度(Sa,Sq,Smax),劃痕截面面積,劃痕體積,磨損面積,磨損體積,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息,或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。

        三維表面輪廓測量和粗糙度測量,即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機(jī)加工零件。

        薄膜和厚膜的臺階高度測量

        劃痕形貌,磨損深度、寬度和體積定量測量

        空間分析和表面紋理表征

        平面度和曲率測量

        二維薄膜應(yīng)力測量

        微電子表面分析和MEMS表征

        表面質(zhì)量和缺陷檢測

        環(huán)境要求

        濕度:10-80%, 相對濕度,無冷凝

        溫度:65-85 華氏度(△T<1度/小時)

        電源要求:110/240V,50/60 Hz

        keyword:臺階儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面臺階儀、三維臺階儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面臺階儀、

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