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臺階儀,
NanoMap-LS 接觸式三維表面臺階儀
特點(diǎn) :
探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面,儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài),整合數(shù)據(jù)得到臺階高度,表面形貌,溝槽深度等特征。
雙模式操作(針尖掃描和樣品臺掃描)
針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,
三維掃描范圍從150mm X 150m
樣品臺掃描掃描范圍到100mm
納米級拋光光學(xué)參考平晶
實(shí)時彩色光學(xué)照相機(jī)直接觀測
雙光學(xué)傳感器 縱向測量范圍**至1000um,*小到分辨率0.1nm
恒定微力接觸 *小0.03mg
簡單友好的人機(jī)操作界面
應(yīng)用
臺階儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,臺階高度,二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三維粗糙度(Sa,Sq,Smax),劃痕截面面積,劃痕體積,磨損面積,磨損體積,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息,或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。
三維表面輪廓測量和粗糙度測量,即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機(jī)加工零件。
薄膜和厚膜的臺階高度測量
劃痕形貌,磨損深度、寬度和體積定量測量
空間分析和表面紋理表征
平面度和曲率測量
二維薄膜應(yīng)力測量
微電子表面分析和MEMS表征
表面質(zhì)量和缺陷檢測
環(huán)境要求
濕度:10-80%, 相對濕度,無冷凝
溫度:65-85 華氏度(△T<1度/小時)
電源要求:110/240V,50/60 Hz
keyword:臺階儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面臺階儀、三維臺階儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面臺階儀、
暫無數(shù)據(jù)!