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OAI光源以工作穩(wěn)定，出光效率高，高均勻性和散射角小著稱。且可提供20inch以上的大面積光源。 OAI光功率計在工業(yè)上有廣泛應(yīng)用，包括NIKON，CANON，ASM等知名光刻機制造商均使用OAI光功率計。
OAI也生產(chǎn)光刻機，尤其是OAI MODEL 800系列雙面曝光機，在世界范圍內(nèi)有著非常廣泛的應(yīng)用。
OAI MODEL 800MBA
雙面對準(zhǔn)曝光機
曝光模式 接近、軟/硬接觸、真空接觸
掩膜尺寸**9"x9"
**適合200mm晶圓曝光
暫無數(shù)據(jù)！
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