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應用：
◆半導體及相關領域。
技術參數(shù)：
E-Square公司致力于提供專業(yè)的電漿（Plasma）清洗解決方案，公司生產(chǎn)的常壓電漿清洗設備以其專業(yè)可靠的品質(zhì)贏得了市場的一致認可。
主要特點：
◆無塵；
◆低溫處理(基板上升溫度:常溫~5℃)；
◆無傷害(與UV燈處理相同程度) ，已申請專利；
◆無靜電放電(處理后的ESD值為0~50V以內(nèi)，由于正、負離子的產(chǎn)生，故處理前不需要負離子空氣凈化器裝置)；
◆2年內(nèi)免維修(2年一次的點檢作業(yè))；
◆小型、重量輕；
◆裝置稼動率99.5%以上；
◆反應裝置的部分幾乎可**使用。
暫無數(shù)據(jù)！
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