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| LFGS 微波產(chǎn)生器 |
| LFGS 產(chǎn)生器是用於半導(dǎo)體生產(chǎn)和一般電漿處理的多功能微波電源，這種變頻電源採(cǎi)用了一種半橋、D 類(lèi)型放大器理念，擁有一種氣冷式精簡(jiǎn)型的設(shè)計(jì)，可安裝在19英吋機(jī)架上。典型的應(yīng)用包括濺射、反應(yīng)式離子蝕刻、電漿沉積、聚合以及表面處理。 |
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