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| Ovation 全整合供電系統(tǒng)通過(guò)採(cǎi)用一種獨(dú)特的供電方案，能夠?qū)崿F(xiàn)更快、更精確的製程過(guò)程，如要求嚴(yán)格的窄線寬、介電質(zhì)蝕刻製程。該系統(tǒng)**在無(wú)需外部感測(cè)器的情況下，為非 50-ohm 環(huán)境供電，反應(yīng)比傳統(tǒng)電源更快。60-MHz 的設(shè)計(jì)減小了整個(gè)電漿鞘層的電壓勢(shì)能，**限度地減小了離子蝕刻損傷，從而提高了薄膜品質(zhì)和良品率。 |
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