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規(guī)格參數(shù)：
1、旋涂基材6英寸或更小
2、包括三個(gè)真空旋轉(zhuǎn)卡盤
3、用于手套箱的占地面積小
4、易于使用的觸摸屏界面
5、可編程旋涂工藝
6、耐用的設(shè)計(jì)以及耐化學(xué)腐蝕的材料
7、耐化學(xué)腐蝕HDPE旋轉(zhuǎn)碗
8、耐用的不銹鋼機(jī)身，具有耐化學(xué)腐蝕的透明旋轉(zhuǎn)蓋
9、4.3”觸摸屏界面
10、基板尺寸：從1厘米到6英寸晶圓
11、轉(zhuǎn)速范圍：100-12000 RPM
12、轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM
13、加速范圍：空載100-30000 RPM / s
14、程序：10個(gè)旋轉(zhuǎn)程序，每個(gè)程序有10個(gè)步驟
15、安全：真空聯(lián)鎖和旋轉(zhuǎn)蓋聯(lián)鎖
16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)
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