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        Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500
        Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

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        品牌

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        美國(guó)

        樣本

        暫無(wú)
        上海跡亞國(guó)際商貿(mào)有限公司

        會(huì)員

        |

        第2年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實(shí)

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        Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

        產(chǎn)品特點(diǎn):

        1、 熱塑化

        2、 紫外固化

        3、 熱壓與紫外壓印同時(shí)進(jìn)行

        4、 熱固化

        5、氣墊軟壓技術(shù)(ACP)

        6、Nanonex**技術(shù)

        7、 **的整片基板納米壓印均勻性

        8、高通量

        9、低于10nm分辨率

        10、亞1微米對(duì)準(zhǔn)精度

        11、快速工藝循環(huán)時(shí)間(小于60秒) 靈活性

        12、4″, 6″, or 8″壓印面積可選擇各種尺寸及不規(guī)則形狀模板與基板均可壓印

        13、方便用戶操作

        14、基于超過(guò)12年、15代產(chǎn)品開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)的自動(dòng)化壓印操作,Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過(guò)大量實(shí)時(shí)實(shí)地驗(yàn)證,質(zhì)量可靠,性能優(yōu)越穩(wěn)定

        15、全自動(dòng)納米壓印

        規(guī)格參數(shù):

        1、熱塑壓印模塊

        溫度范圍0~250oC

        加熱速度>300oC/分鐘

        制冷速度>150oC/分鐘

        壓力范圍0 ~ 3.8 MPa(550 psi)

        2、紫外固化模塊

        200W窄帶紫外光源

        365納米或395納米波長(zhǎng)可選

        全自動(dòng)化控制

        3、對(duì)準(zhǔn)模塊

        <1μm 3σ對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)確率

        X, Y, Z, Theta平臺(tái)

        分場(chǎng)光學(xué)和CCD相機(jī)

        4、模版裝載功能

        4″/5″/6″模版可用于標(biāo)配納米壓印

        5、系統(tǒng)

        8”模板可升級(jí)

        6、基板裝載

        標(biāo)配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板

        6″和8″基板可選

        各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基

        7、板均可壓印

        獨(dú)特**保護(hù)ACP技術(shù)可限

        8、度保護(hù)基板和模板,特別對(duì)于象磷化銦(InP)等極易碎模板和 基板給予限度保護(hù)。

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        產(chǎn)品質(zhì)量

        10分

        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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