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SUSS蘇斯光刻機(jī)用曝光燈HBO 200W/DC ，HBO 350W/S，HBO 1000W/D，HBO 5000W/S
詳細(xì)介紹
SUSS Micro Tecv美國(guó)蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)用光刻機(jī)，目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同，該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈，主要是由德國(guó)歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列，具備良好的光通量，穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下：
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
適用SUSS蘇斯光刻機(jī)型的曝光燈
燈管型號(hào) 壽命（H） 適用SUSS蘇期光刻機(jī)型
HBO 200W/DC 1000H MJB3， MJB4
HBO 350W/S 600H MA4， MA6， MA8， MA150， MJB3， MJB21，UV300/500
HBO 1000W/D 1000H MA150，MA200，MA4，MA6， MA8
HBO 5000W/S 1000H MA300
以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù)，適用于SUSS蘇斯光刻機(jī)型：
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