參考價(jià)格
面議型號(hào)
品牌
產(chǎn)地
日本樣本
暫無看了日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS
JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng)，兼具世界**水平的產(chǎn)出量和定位精度，**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版，適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。
產(chǎn)品規(guī)格：
電子槍 | ZrO/W 肖特基型 |
描畫方式 | 圓形束， 矢量掃描， 步進(jìn)重復(fù)式 |
加速電壓 | 100kV |
樣品尺寸 | 樣品尺寸 (可以安裝): **300mmΦ的晶圓片， **6英寸的掩模版， 任意尺寸的的微小樣品。 |
**場尺寸 | 1000μm×1000μm |
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍 | 260mmX240mm |
樣品臺(tái)控制單元 | 0.15nm（λ/4096） |
套刻精度 | ≦±11nm |
場拼接精度 | ≦±10nm （場尺寸為1000μm×1000μm） |
寫場內(nèi)位置精度 | ≦±9nm（場尺寸為1000μm×1000μm） |
定位DAC | 20位 |
掃描速度 | ** 100MHz |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng)，兼具世界**水平的產(chǎn)出量和定位精度，**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版，適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。
· 此外，由于具有100MHz的*快掃描速度，場尺寸在1000μm×1000μm時(shí)的套刻精度達(dá)到±11nm、場拼接精度為±10nm、寫場內(nèi)位置精度達(dá)±9nm，是兼具世界**水準(zhǔn)產(chǎn)出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng)。
· 由于采用的位置偏轉(zhuǎn)DAC為20位，掃描DAC為14位，能獲得0.25nm的掃描步距，分辨率更高，描畫數(shù)據(jù)增長1nm，可以更忠實(shí)地再現(xiàn)描畫數(shù)據(jù)。
· *快達(dá)到100ＭＨｚ的高速化掃描速度，保證了大電流描畫時(shí)的掃描步距很短，因而能提高對(duì)精度要求極高的圖形描畫的產(chǎn)出量。
· 由激光束控制（LBC）的0.15nm（λ/4096）的*小定位單位及高分辨率，達(dá)到了世界**水準(zhǔn)的位置精度。
· 本公司獨(dú)自的自動(dòng)校正功能(自動(dòng)補(bǔ)償功能)，實(shí)現(xiàn)了可信賴的長時(shí)間穩(wěn)定地描畫。自動(dòng)補(bǔ)償可以根據(jù)時(shí)間（任意的）、場和圖形進(jìn)行分別設(shè)定，非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時(shí)間描畫。
· 該系統(tǒng)**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版，適合于納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等各種領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)（選配），*多可裝載10個(gè)卡匣。
· 利用微間距控制程序（場尺寸微調(diào)程序）可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。
暫無數(shù)據(jù)！
日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 的工作原理介紹？日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 的使用方法？日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 多少錢一臺(tái)？日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 使用的注意事項(xiàng)日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 的說明書有嗎？日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 的操作規(guī)程有嗎？日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 有現(xiàn)貨嗎？日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
